納米級(jí)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
[2013-03-21]
納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)科技是當(dāng)今的前沿科技領(lǐng)域，然而只有當(dāng)能夠?qū){米尺度進(jìn)行測(cè)量時(shí)納米科技才能成為真正的科學(xué)。目前納米尺度的測(cè)量已從一維測(cè)量走向三維測(cè)量。圖11 是德國(guó)伊爾梅諾大學(xué)研制的世界上第一臺(tái)商品納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。我國(guó)臺(tái)灣大學(xué)教授、合肥工業(yè)大學(xué)長(zhǎng)江教授范光照也與合肥工業(yè)大學(xué)一起研制了我國(guó)第一臺(tái)納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。這些測(cè)量機(jī)都具有以下特點(diǎn)。（1）采用具有納米分辨力的原子力顯微鏡或近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡等作為測(cè)頭。（2）采用激光標(biāo)尺，以實(shí)現(xiàn)米定義的溯源。（3）采用高精度細(xì)分技術(shù)獲得納米分辨力。（4）采用微晶玻璃等零膨脹系數(shù)材料構(gòu)筑測(cè)量機(jī)主體測(cè)量框架，消除溫度的影響。（5）在結(jié)構(gòu)布局上盡可能符合阿貝原則，減小阿貝誤差。（6）采用電容傳感器等測(cè)量移動(dòng)部件的角運(yùn)動(dòng)誤差，并采用硬件補(bǔ)償調(diào)整或軟件補(bǔ)償?shù)姆椒p小角運(yùn)動(dòng)誤差的影響。
納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
